申请号 | CN202210231809.X | 申请日 | 2022-03-10 |
申请公布号 | CN114622164A | 申请公布日 | 2022-06-14 |
授权公布号 | CN114622164B | 授权公告日 | 2023-10-20 |
分类号 | C23C14/22;C23C14/50;H01L21/683 | ||
分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; | ||
申请人名称 | 江苏长电科技股份有限公司 | ||
申请人地址 | 江苏省无锡市江阴市澄江镇长山路78号 |