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专利状态
一种磁控溅射镀膜结构及其溅镀载具
有效
专利申请进度
申请
2020-08-28
授权
2021-07-27
预估到期
2030-08-28
专利基础信息
申请号 CN202021830440.7 申请日 2020-08-28
授权公布号 CN213803967U 授权公告日 2021-07-27
分类号 C23C14/35;C23C14/50;H01L23/552;H01L23/13
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 江苏长电科技股份有限公司
申请人地址 江苏省无锡市江阴市江阴高新区长山路78号
专利法律状态
  • 2021-07-27
    授权
    状态信息
    授权
  • 2020-08-28
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜结构及其溅镀载具,所述镀膜结构包括基板(1),所述基板(1)上贴装有电子元件(2),所述电子元件(2)外包封有塑封料(3),所述基板(1)底部四周设置有一圈倒角(4),所述倒角(4)上方的基板(1)侧壁和塑封料(3)外表面设置有一层屏蔽层(5)。本实用新型使用具有倒角的基板和凸块载具组合进行溅镀,不必使用胶带,解决了残胶和毛刺等溅镀产品常见外观缺陷问题,大大提高了良率;而且可以保证产品相对具有较低的温度,防止产品受热内部融锡和基板背面变色等情况。