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专利状态
一种复合涂层薄膜及其制备方法和应用
有效
专利申请进度
申请
2021-07-27
申请公布
2021-10-29
授权
2023-05-26
预估到期
2041-07-27
专利基础信息
申请号 CN202110849992.5 申请日 2021-07-27
申请公布号 CN113564526A 申请公布日 2021-10-29
授权公布号 CN113564526B 授权公告日 2023-05-26
分类号 C23C14/06;C23C14/35
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 上海工具厂有限公司
申请人地址 上海市杨浦区军工路1060号
专利法律状态
  • 2023-05-26
    授权
    状态信息
    授权
  • 2021-10-29
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明属于材料涂层技术领域,具体涉及一种复合涂层薄膜及其制备方法和应用。本发明提供的复合涂层薄膜,包括交替层叠的ZrN模板层和TiAlSiN调制层,直接与基体表面接触的为ZrN模板层;所述TiAlSiN调制层包括TiAlN相和Si3N4相。本发明在TiAlSiN调制层中掺杂Si元素,使调制层产生同时具有TiAlN和Si3N4多相态。调制层的多相化增加了涂层中各相之间的弹性模量差,也增强了各层之间的交变应力场。本发明提供的复合涂层薄膜中多个相邻的ZrN层和TiAlSiN层之间呈共格外延生长,该结构阻碍了纳米晶粒沿晶界的滑移,使复合涂层进一步强化。