一种适于声纹识别的MEMS麦克风芯片

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专利状态

一种适于声纹识别的MEMS麦克风芯片

有效

专利申请进度

申请

2023-07-13

授权

2024-01-19

预估到期

2033-07-13

专利基础信息

申请号	CN202321844912.8	申请日	2023-07-13
授权公布号	CN220368806U	授权公告日	2024-01-19
分类号	H04R19/04
分类	电通信技术;
申请人名称	万魔声学股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市南山区留仙大道3333号塘朗城A座35楼

专利法律状态

2024-01-19

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开一种适于声纹识别的MEMS麦克风芯片，包括有层叠设置的基座、振膜和背极板，所述背极板包括绝缘背极层和导体背极层，所述绝缘背极层上设置有第一弧形部，所述导体背极层上对应第一弧形部处设置有衔接边，所述第一弧形部包覆于衔接边；所述绝缘背极层上还设置有若干第二弧形部；所述振膜上设置有第一凹槽，其通过基座、振膜和背极板的结构设计与配合，利用第一弧形部与衔接边的设计，减小裂纹，改善两者之间的应力分布，提升了吹气跌落等场景下导体背极层边缘处的可靠性，以及该MEMS麦克风芯片可以应用在声纹识别上，平稳的电容量变化让声音的波纹稳定性更好，人声识别算法系统更容易快速精准识别人声匹配。

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