一种用于ZYGO干涉仪的偏振附件

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专利状态

一种用于ZYGO干涉仪的偏振附件

有效

专利申请进度

申请

2023-05-29

授权

2023-11-03

预估到期

2033-05-29

专利基础信息

申请号	CN202321318581.4	申请日	2023-05-29
授权公布号	CN219956859U	授权公告日	2023-11-03
分类号	G01M11/02
分类	测量；测试;
申请人名称	福建福晶科技股份有限公司
申请人地址	福建省福州市软件大道89号F区9号楼

专利法律状态

2023-11-03

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种用于ZYGO干涉仪的偏振附件，该偏振附件包括转接头主体、转接口A、转接口B、镜架主体、镜架转盘、镜架转盘旋钮、偏振片。本实用新型提供了一种用于ZYGO干涉仪的偏振附件，利用该附件可以有效解决波片在波前畸变测试过程中由于偏振效应产生对比度差，干涉条纹模糊，导致无法测试的问题，提高成品率和生产效率。

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